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Mikrosystemtechnik für Ingenieure (3., überarb. u. erw. Aufl. 2005. XVI, 574 S. m. Abb. 24 cm)

Menz, Wolfgang/ Mohr, Juergen/ Paul, Oliver
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Product Description

Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs tragt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinaren Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Ausserdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlagt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.
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Die völlig neubearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses sich rasch entwickelnden Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Insbesondere die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert. Neu hinzugekommen sind anwendungsbezogene Aspekte in der Medizintechnik, Galvanik und Lithographie.

Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in dieses aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen.
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