Dieses Buch vermittelt einen umfassenden Überblick über die Technologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik von Werkstoffen und Fertigungsprozessen über die Herstellung von MEMS und integrierten Schaltkreisen bis hin zu Mikrosensoren und Aktoren. Es richtet sich an Studierende, Ingenieure und Forschende und verbindet physikalische Grundlagen mit modernen industriellen Anwendungen.
die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund. Für die zweite Auflage wurden die Inhalte aktualisiert und ergänzt um Themen rund um Prozessmesstechnik und Charakterisierung in der Mikrosystemtechnik.
Publisher
Springer, Berlin; Springer Vieweg
Publication Date
Jan 2027
ISBN
9783658528560
Pages
-
Item Type
Book
Format
Paperback
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