新・半導体工場のすべて-設備・材料・プロセスからAI技術の活用まで設備・材料・プロセスからAI技術の活用まで

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Product Description

製作の全工程を熟知する第一人者が半導体にまつわるヒト・モノ・カネを「工場」を切り口に整理した、大好評入門書の最新版。

半導体製造の全体像が理解できる大好評書籍の全データをアップデート。さらに新章として、世界の半導体工場の増設状況、「中工程」と呼ばれる新たな工程、超微細露光、GAAなど次世代の革新技術、AI時代の半導体工場の姿、などを加えた決定版!

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