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走査電子顕微鏡（第２版）（表面分析技術選書）

日本表面真空学会
46.80 SGD
会員価格
42.12

Product Description

走査電子顕微鏡の基礎から，試料ごとの前処理法や観察手法など応用的な内容までを解説．
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電子線で試料表面を走査する走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）は、試料表面形状だけではなく、試料の元素組成や結晶方位、三次元形状など、さまざまな情報を得る手法として発展を遂げ、多くの研究・産業分野で広く用いられている。本書は、このようにＳＥＭの応用が広がっている状況を踏まえ初版を大幅に改訂。ＳＥＭの基礎的・理論的な説明から、分野に応じた試料の準備・前処理法や観察手法を実際の観察事例とともに解説した。さらに、データサイエンス・機械学習の応用や三次元像の構築、自動化なども、最新の実例とともに紹介している。ＳＥＭの初心者から、応用を検討している実務者・研究者まで必携の一冊。

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