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二次イオン質量分析法（第２版）（表面分析技術選書）

日本表面真空学会
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Product Description

二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）は、試料表面にイオンビームを照射し、飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し、さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である。金属や半導体から高分子材料、生体試料にも適用できる分析法として、多くの研究分野で活用されている。２５年ぶりの大改訂となる本書では、重要性の高い基礎的な内容だけでなく、目的別の応用例を大幅に拡充。これからＳＩＭＳを使い始める学生はもちろん、現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊。

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