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Technologien der Mikrosysteme : Materialien, Prozesse und Herstellung halbleiterbasierter Systeme (2. Aufl.)

Ngo, Ha Duong
52.89 SGD
Member Price
47.61
German

Product Description

Dieses Buch vermittelt einen umfassenden Überblick über die Technologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik von Werkstoffen und Fertigungsprozessen über die Herstellung von MEMS und integrierten Schaltkreisen bis hin zu Mikrosensoren und Aktoren. Es richtet sich an Studierende, Ingenieure und Forschende und verbindet physikalische Grundlagen mit modernen industriellen Anwendungen.

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die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund. Für die zweite Auflage wurden die Inhalte aktualisiert und ergänzt um Themen rund um Prozessmesstechnik und Charakterisierung in der Mikrosystemtechnik.

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